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半导体工厂废气处理方案及工艺

发布时间:2023-01-30 16:59:41浏览次数:

   半导体工厂废气处理行业简述   

    众所周知,从2018年中至今,大洋彼岸的某国在科技、半导体领域对我们发起了贸易站、技术封锁。在此大背景下,从普通消费品到硬核科技产品,国产替代概念这些年都是异常地火爆,国家也是大力支持半导体行业企业的发展。因为,半导体是许多工业设备的运转核心,比如计算机、消费电子产品、网络及通信设备、汽车等国民经济的核心领域,卡脖子的问题必须得到解决。因此,国内半导体行业近些年正在蓬勃发展。

半导体工厂废气处理方案及工艺(图1)


   半导体工厂废气主要来源   

    在行业划分上,半导体也属于电子行业,半导体产成品的出现仍然需要像制造业那样经过设计、研发、生产、封装、测试等诸多环节。因此,在研发设计和生产加工过程中也会产生大量的有害废气。在半导体电子行业中,芯片或线路板在清洗、均胶、去胶、刻蚀、显影等各个环节均会有废气产生。再有,在半导体加工车间,生产线上也会产生一定量的废气和粉尘,这些也必须予以处理。


   半导体行业废气种类  

    至于半导体行业废气的种类和成分,其实也可以用纷繁复杂来形容,汇总起来,大概有如下这些:异丙醇、丁酮、甲苯、醋酸丁酯、甲醇、乙醇、丙酮、二甲苯、丙二醇单甲醚、苯乙烯、乙酸乙酯、正丁醇、甲基异丁基甲酮、二氯甲烷、环已酮、乙苯、正庚烷、甲氢呋喃、三氯乙烯和氯仿等。


   半导体工厂废气处理工艺方案   

    半导体行业废气通常可以采用焚烧法、吸附法、冷凝法、低温等离子、光催化氧化法等工艺来处理。但由于电子行业废气种类复杂多样,使用单一设备往往无法实现净化达标的效果,需要采用多种废气处理设备的工艺组合来解决。

    推荐工艺组合:水喷淋+UV光氧+干式过滤+活性炭吸附浓缩+催化燃烧

    工艺简述:水喷淋可以将废气中的水溶性好的有机废气进行预处理净化;再通过UV光氧将一些废气分子破碎并进一步氧化还原,干式过滤则可以捕捉废气中的粉尘,确保废气洁净;活性炭吸附浓缩可以将有机废气成分经过活性炭吸附装置,被活性炭吸附,干净的气体再排出;催化燃烧可以将活性炭中的有机废气脱附催化燃烧干净,使活性炭再生重复使用。



   半导体工厂废气处理方案及工艺(图2)

半导体工厂废气处理方案及工艺(图3)

半导体工厂废气处理方案及工艺(图4)

半导体工厂废气处理方案及工艺(图5)

半导体工厂废气处理方案及工艺(图6)

半导体工厂废气处理方案及工艺(图7)

半导体工厂废气处理方案及工艺(图8)

半导体工厂废气处理方案及工艺(图9)

半导体工厂废气处理方案及工艺(图10)

半导体工厂废气处理方案及工艺(图11)

半导体工厂废气处理方案及工艺(图12)

半导体工厂废气处理方案及工艺(图13)

半导体工厂废气处理方案及工艺(图14)

半导体工厂废气处理方案及工艺(图15)

     


    作为源头工业废气处理方案供应商,韵蓝环保在半导体行业废气处理设备的研发生产、施工调试、售后维保方面经验丰富。广泛应用于电子、喷涂、印刷、塑料、化工、制药、橡胶、半导体、新材料、新能源等众多行业。韵蓝是10年环保老厂,拥有2000平米自营工厂数十项产品专利,近1000家落地案例。半导体电子厂废气处理价格公道,质量过硬,免费提供半导体工厂废气处理工艺方案,为您一站式解决废气排放问题!

半导体工厂废气处理方案及工艺(图16)